产品优势：
1.利用位置、速度可控的摆臂喷洒化学液，可以有效的提高刻蚀均匀性
2.分层式反应腔体设计，可以在同一腔体中喷洒多种化学液，并能有效回收，节约化学液
3.叠层控制，占地面积小，最多可配置4个刻蚀单元
