產品優勢：
1.利用位置、速度可控的擺臂噴灑化學液，可以有效的提高刻蝕均勻性
2.分層式反應腔體設計，可以在同一腔體中噴灑多種化學液，并能有效回收，節約化學液
3.疊層控制，占地面積小，最多可配置4個刻蝕單元
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