目前，沈陽芯源公司已申請專利343項，其中發明專利272項（美國專利5項，臺灣專利12項），實用新型48項。目前擁有授權專利145項，其中發明專利127項，使用新型專利6項，外觀合計專利12項，擁有31項軟件著作權，主持制定了行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》1項。芯源技術及產品榮獲國家戰略性創新產品、國家重點新產品、中國半導體創新產品和技術獎及省、市科技進步獎等多項獎勵。
