產品優勢：
1.自主IP的雙真空雙夾持四手高速機械手，產能高，干濕分離無交叉污染
2. 具有AWC高效圖像對中功能
3.采用可多片兼容不同尺寸、不同角度的浸泡系統
4.閉環控制高壓管路系統，可實現目標值±0.2MPa的控壓精度
5.自主IP的耐高壓在線式加熱器，可達到國際加熱器同等控溫
6. 工藝單元采用主動夾持Chuck，可避免晶背劃傷及晶圓側翻
7.去膠液可自動回收，循環使用
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