產品優勢：
1. 可兼容處理4英寸及6英寸晶圓且配置靈活
2. 支持兩種去膠液擺臂,變速掃描功能
3. 采用“干進干出”的晶圓加工模式
4. 化學液循環再利用、金屬回收、多種藥液分類排放
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